检测晶圆封装千亿体育官网qy膜层质量

作者:jcshimo 发布时间:2021-09-14 13:53:24

    在涂覆完成后,还需要对成形后工件的晶圆封装千亿体育官网qy膜层质量进行检测,包括工件的光泽、晶圆封装千亿体育官网qy膜层的厚度是否均匀而且尺寸在控制范围之内,以及晶圆封装千亿体育官网qy膜层是否出现分层现象等。

  如果成形后的晶圆封装千亿体育官网qy膜层出现光泽不均匀、有花纹现象,则有可能是靶材的材质的纯净度不够,含有较多的杂质所致。另外还有一种可能性是涂覆设备出现了问题,没有稳定的工艺环境。出现这种情况,首先要排查是否设备出现了问题,如果不是则必须更换靶材。


在设备稳定的情况下,晶圆封装千亿体育官网qy膜层的厚度取决于成形的工艺时间.出现晶圆封装千亿体育官网qy膜层厚度超差一般都是处理时间过长或过短所致,只要调整处理时间就可以解决问题。

  一般最常见也是比较难解决的的问题是晶圆封装千亿体育官网qy膜层和工件基体之间的结合力不强。出现分层现象(见图3)。出现这种问题的原因有很多种,最主要的有工件清洗得不干净、不彻底,工件的基体没有抛光到工艺要求或者存在缺陷,成形工艺参数不合理等。

出现这种情况要一项项去排除,直至找到真正的原因。为了解决基体与晶圆封装千亿体育官网qy膜层分层的问题,有时还需要对工件进行预处理,即在工件上预先涂覆一层晶圆封装千亿体育官网qy来消除基体本身的缺陷。